特許
J-GLOBAL ID：200903018951089160
突起物切削装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-315423
公開番号（公開出願番号）：特開平8-174328
出願日： 1994年12月20日
公開日（公表日）： 1996年07月09日
要約：
【要約】【目的】 溶解させることなく、突起物のみの削除を行える突起物切削装置を提供する。【構成】 支持体1に対してヘッド5の位置を変更し、突起物切削具20を或るレベルに位置させる。流体供給孔40から被処理面60aに向けて流体Aを噴出させ、突起物切削具20の下面22aと被処理面60aの間に流体膜aを形成して突起物切削具20を浮上させ、下面22aが被処理面60aに接触することを防止する。浮上用流体Aの噴出圧による突起物切削具20の移動は規制範囲内であり、突起物切削具20の下面22aと被処理面60aの間の間隙を適正にして維持する。適正な間隙により、突起物切削具20は、下面22aが被処理面60aに接触することなく移動し、突起物62Aの上部を、膜面を傷つけることなく確実に切削する。
請求項（抜粋）：
支持体に対して位置変更自在なヘッドを設け、このヘッドに、規制範囲内で移動自在な突起物切削具を設け、この突起物切削具側に、被処理面に向いて開放する流体供給孔を形成したことを特徴とする突起物切削装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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