特許

J-GLOBAL ID：200903018952056168

配線用銅膜表面の酸化銅除去方法

発明者： 並木 崇久 ,  山岸 康男 ,  矢野 映
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-191274
公開番号（公開出願番号）：特開平7-041971
出願日： 1993年08月02日
公開日（公表日）： 1995年02月10日
要約：

【要約】【目的】配線用銅膜表面の酸化銅除去方法に関し、銅膜表面の酸化銅を酸によって除去した後の酸化の進行を抑制すること。【構成】銅膜の表面を酸処理する工程と、酸処理された前記銅膜の表面を中和処理する工程と、中和された前記銅膜の表面を洗浄処理する工程とを経ることにより前記銅膜の表面の酸化銅を除去することを含む。

請求項（抜粋）：

銅膜の表面を酸処理する工程と、酸処理された前記銅膜の表面を中和処理する工程と、中和された前記銅膜の表面を洗浄処理する工程とを経ることにより前記銅膜の表面の酸化銅を除去することを特徴とする配線用銅膜表面の酸化銅除去方法。

IPC (6件)：

C23G 1/10 ,  C23G 5/032 ,  H01L 21/304 351 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/24 ,  H05K 3/26