振動型ジャイロスコープ

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：野▲崎▼ 照夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-027702
公開番号（公開出願番号）：特開平8-201066
出願日： 1995年01月25日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：

【要約】【目的】圧電材料を用いた振動型ジャイロスコープにおいて、全体を薄型化し、且つ電極を高精度に形成できるようにする。【構成】単結晶材料の圧電材料により形成される弾性体12の同一面に第一の電極13aと第二の電極13bが形成され、他方の面に対向電極14が形成される。電極13aと13bに逆位相の交流電力が与えられると、弾性体12はX方向へ曲げ振動する。Z軸回りの回転系内では、コリオリ力により弾性体12がY方向へ振動し、この振動により誘起された電力が電極13aと13bに現れる。両電極13aと13bの検出電力を加算手段17で加算することにより、駆動電力が消去され、コリオリ力による振動成分のみが取り出される。第一と第二の電極が同一面に形成されているため、エッチング構成などにより両電極の相対位置などを高精度に設定できる。

請求項（抜粋）：

圧電材料または圧電材料と他の弾性材料とで構成された平板状の弾性体と、前記圧電材料に接する対向電極と、前記圧電材料の同一平面上に取り付けられて前記対向電極に対向する第一と第二の電極と、第一と第二の電極へ駆動電力を与えて前記弾性体を変形振動させる駆動電力部と、前記第一と第二の電極のそれぞれから取り出した検出電力を加算しまたは差を求める手段を有して、回転系内におかれたときにコリオリ力により生じる振動成分を検出する検出部を有することを特徴とする振動型ジャイロスコープ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01C 9/04

引用特許：

審査官引用 (17件)

特開平4-361113
特開平4-328417
特開平3-120416

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