特許
J-GLOBAL ID:200903018960635410

位相差検出器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 篠原 泰司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-315109
公開番号(公開出願番号):特開平5-203408
出願日: 1992年11月25日
公開日(公表日): 1993年08月10日
要約:
【要約】【目的】 位相差検出器において、光学素子やフォトディテクタのスペースを減らし、簡単な構成で小型化を可能にする。【構成】 干渉計の出力光より、所定の位相差をもった複数の信号を光電検出する位相差検出器である。四分の1波長板2、各々の偏光軸の少なくとも一部が所定の角度だけ異なるような複数の偏光子3〜6を受光量が略等しくなるように配置した偏光手段、偏光手段の各偏光子3〜6と1対1で対応するフォトディテクタ7a〜7dを備えているのが特徴である。出力信号を利用して、アライメントを容易に行える利点も有する。
請求項(抜粋):
干渉計の出力光が入射し、該出力光より互いに所定の位相差をもった複数の信号を光電検出する位相差検出器において、四分の一波長板と、各々の偏光軸の少なくとも一部が所定の角度だけ異なるような複数の偏光子を各偏光子が受ける光量が略等しくなるように配置してなる偏光手段と、該偏光手段の各偏光子と1対1で対応するフォトディテクタとを備えたことを特徴とする位相差検出器。

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