ヒータ一体型酸素センサ素子およびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-309651
公開番号（公開出願番号）：特開2001-124728
出願日： 1999年10月29日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：

【要約】【課題】ヒータを一体化して活性化時間が短く、且つヒータ一体化に伴う内部応力の発生を抑制し、耐熱衝撃性に優れたヒータ一体型酸素センサ素子を得る。【解決手段】一端が封止されたジルコニアからなる多孔性の円筒状支持体1の表面に、厚さ1〜100μmの多孔性のセラミック絶縁体層3を介して、ジルコニア固体電解質層4の内側に基準電極5が、外側に測定電極6が設けられてなる酸素センサ層7を設けてなるとともに、支持体1の内部、支持体1とセラミック絶縁体層3との間、およびセラミック絶縁体層3内部のうちいずれかの位置にヒータ層2を設ける。

請求項（抜粋）：

一端が封止されたジルコニアからなる多孔性の円筒状支持体の表面に、厚さ1〜100μmの多孔性のセラミック絶縁体層を介して、ジルコニア固体電解質層の内側に基準電極が、外側に測定電極が設けられてなる酸素センサ層を設けてなるとともに、前記円筒状支持体の内部、前記円筒状支持体と前記セラミック絶縁体層との間、および前記セラミック絶縁体層内部のうちいずれかの位置にヒータ層を設けたことを特徴とするヒータ一体型酸素センサ素子。

Fターム (5件)：

2G004BB07 , 2G004BE01 , 2G004BJ02 , 2G004BJ03 , 2G004BM07

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