特許
J-GLOBAL ID：200903018969428816
半導体マイクロアクチュエータ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
安藤 淳二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-113471
公開番号（公開出願番号）：特開2002-307393
出願日： 2001年04月12日
公開日（公表日）： 2002年10月23日
要約：
【要約】【課題】 低消費電力で、応答性のよい半導体マイクロアクチュエータを提供する応答性のよい半導体マイクロアクチュエータを提供する。【解決手段】 半導体基板3と、該半導体基板3と熱絶縁領域10を介して接合され温度変化に応じて定められた方向に変位する少なくとも1つの可撓部2と、該可撓部2により熱絶縁領域10を介して懸垂され前記可撓部2の変化に応じて変位する可動部1とを備えてなる半導体マイクロアクチュエータにおいて、前記熱絶縁領域10を、略中央部の底面部で不連続面を形成するように、連結する部材の表面に沿って順次複数のポリイミド薄膜11を積層して構成する。
請求項（抜粋）：
半導体基板と、該半導体基板と熱絶縁領域を介して接合され温度変化に応じて定められた方向に変位する少なくとも1つの可撓部と、該可撓部により熱絶縁領域を介して懸垂され前記可撓部の変化に応じて変位する可動部とを備えてなる半導体マイクロアクチュエータにおいて、前記熱絶縁領域を、略中央部の底面部で不連続面を形成するように、連結する部材の表面に沿って順次複数のポリイミドを積層して構成することを特徴とする半導体マイクロアクチュエータ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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