特許

J-GLOBAL ID：200903018971793670

検査装置

発明者： 新田 啓一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 木内 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-017043
公開番号（公開出願番号）：特開2003-215460
出願日： 2002年01月25日
公開日（公表日）： 2003年07月30日
要約：

【要約】【課題】 除振台を用いなくても良好な検査画像を得ることができる検査装置を提供する。【解決手段】 被写体1を載置するためのステージ2と、ステージ2を移動させるモータ9,10,11と、対物レンズA,Bを介して被写体1を撮像する撮像部7とを備え、撮像部7の映像信号に基づき被写体1の検査を行う検査装置において、検査装置が振動することで発生する撮像部7で撮像された被写体像の揺れを補正する補正処理手段と、モータ9,10,11がステージ2を駆動しているとき、補正処理手段の補正動作を禁止する禁止手段とを採用した。

請求項（抜粋）：

試料を載置するためのステージと、前記ステージを移動させるステージ駆動手段と、光学素子を介して前記試料を撮像する撮像手段とを備え、前記撮像手段の映像信号に基づき前記試料の検査を行う検査装置において、前記検査装置が振動することで発生する前記撮像手段の映像信号の揺れを補正する補正処理手段と、前記ステージ駆動手段が前記ステージを駆動しているとき、前記補正処理手段の補正動作を禁止する禁止手段とを備えていることを特徴とする検査装置。

IPC (7件)：

G02B 21/00 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/956 ,  G02B 21/26 ,  H01L 21/66 ,  H04N 5/225 ,  H04N 7/18

FI (7件)：

G02B 21/00 ,  G01B 11/30 Z ,  G01N 21/956 A ,  G02B 21/26 ,  H01L 21/66 J ,  H04N 5/225 C ,  H04N 7/18 B

Fターム (51件)：

2F065AA49 ,  2F065BB03 ,  2F065BB18 ,  2F065BB25 ,  2F065CC19 ,  2F065DD14 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ41 ,  2F065UU05 ,  2G051AA51 ,  2G051AB20 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051DA07 ,  2G051DA08 ,  2G051EA16 ,  2G051EA17 ,  2G051ED07 ,  2G051FA10 ,  2H052AD13 ,  2H052AF02 ,  2H052AF21 ,  2H052AF25 ,  4M106AA01 ,  4M106BA07 ,  4M106CA39 ,  4M106DB04 ,  4M106DB20 ,  4M106DB30 ,  4M106DH38 ,  4M106DJ03 ,  4M106DJ05 ,  4M106DJ06 ,  4M106DJ19 ,  5C022AA01 ,  5C022AB55 ,  5C022AC42 ,  5C022AC69 ,  5C054CA04 ,  5C054CF05 ,  5C054EA01 ,  5C054EA05 ,  5C054EF06 ,  5C054FC01 ,  5C054HA05