特許
J-GLOBAL ID：200903018975789510
プローブカードを備えた半導体測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-283628
公開番号（公開出願番号）：特開平6-109764
出願日： 1992年09月30日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：
【要約】【目的】 第1には、プローブ針の配置を簡便な手段で自在に変更できるプローブカードを備えた半導体測定装置を提供することであり、第2には、プローブ針の数が自在に変更できるプローブカードを備えた半導体測定装置を提供することである。【構成】 プローブ針が複数配列されているプローブカードを備えた半導体測定装置において、プローブカード10は、枠体12の相互に対向する枠部材14、15の間に該枠部材の長手方向に並進可能に架設された針受け台18を備えている。針受け台は、その両端部に枠部材に沿って摺動する摺動支持部22をそれぞれ備え、かつ2個の摺動支持部によって両端部が支持された軌条20と、該軌条に沿って摺動し得るように該軌条に装着された針ブロック26とを備えている。プローブ針24は、針ブロックに設けられている。また、好適には、針ブロックは、軌条に取り外し自在に装着されている。
請求項（抜粋）：
プローブ針が複数配列されているプローブカードを備えた半導体測定装置において、前記プローブカードは、該プローブカードを形成する枠体の相互に対向する枠部材の間に該枠部材の長手方向に並進可能に架設された針受け台を備え、前記針受け台は、その両端部に前記枠部材に沿って摺動する摺動支持部をそれぞれ備え、更に前記2個の摺動支持部によって両端部が支持された軌条と、該軌条に沿って摺動し得るように該軌条に装着された針ブロックとを備え、前記プローブ針は、前記針ブロックに設けられていることを特徴とするプローブカードを備えた半導体測定装置。
IPC (2件)：
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