ガスセンサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：千葉剛宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-055237
公開番号（公開出願番号）：特開平9-318597
出願日： 1997年03月10日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：

【要約】【課題】被測定ガスの導入口以外からの酸素の侵入を回避し、これによって前記被測定ガス中の酸化物又は可燃性ガスの量を高精度に測定できるようにする。【解決手段】測定電極72のリード線102aを挟む緻密化絶縁層104aを、測定電極72側が第1室60を構成する壁面から所定距離だけ離間させ、検出電極82のリード線102dを挟む緻密化絶縁層104dを、検出電極82側が第2室62を構成する壁面から所定距離だけ離間させて形成する。第1室60内の内側ポンプ電極64のリード線102cを挟む緻密化絶縁層104cを、内側ポンプ電極64側が第1室60を構成する壁面から所定距離だけ離間させて形成する。緻密化絶縁層104a、104c及び104dは、例えば、アルミナやスピネル等の絶縁材料の中から気孔率の小さい材料、好ましくは、気孔率が10%以下の材料を選択して用いることができる。

請求項（抜粋）：

酸素イオン伝導性固体電解質からなる基体を含む壁面にて区画された第1室の内外に配設される内側ポンプ電極及び外側ポンプ電極を有し、かつ、外部空間から前記第1室内に導入された被測定ガスに含まれる酸素を、前記内側ポンプ電極及び外側ポンプ電極間に印加される制御電圧に基づいてポンピング処理する主ポンプ手段と、酸素イオン伝導性固体電解質からなる基体を含む壁面にて区画された第2室の内外に配設される内側検出電極及び外側検出電極を有し、かつ、前記主ポンプ手段にてポンピング処理された後の被測定ガス中に含まれる所定ガス成分を触媒作用及び/又は電気分解により分解させ、該分解によって発生した酸素を、前記内側検出電極及び外側検出電極間に印加される測定用ポンプ電圧に基づいてポンピング処理する測定用ポンプ手段と、前記測定用ポンプ手段によりポンピング処理される前記酸素の量に応じて生じるポンプ電流を検出する電流検出手段とを具備し、固体電解質グリーンシート上に絶縁層及び導体層を形成し、更に、複数のグリーンシートを積層一体化して焼成してなるガスセンサであって、前記主ポンプ手段により制御された第1室内の酸素濃度を前記第2室内において所定の範囲で維持すべく、少なくとも前記第2室内の前記内側検出電極に接続される前記導体層を構成するリード線の絶縁状態が、前記絶縁層を構成する緻密化された絶縁材料を用いて維持され、前記電流検出手段にて検出されたポンプ電流に基づいて前記被測定ガス中の前記所定ガス成分を測定することを特徴とするガスセンサ。

IPC (2件)：

G01N 27/419 , G01N 27/416

FI (6件)：

G01N 27/46 327 H , G01N 27/46 327 E , G01N 27/46 327 N , G01N 27/46 331 , G01N 27/46 371 G , G01N 27/46 376

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平3-073841
特開平2-167460
特開昭57-178152

審査官引用 (6件)

特開平3-073841
特開平3-073841
特開平2-167460

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