特許

J-GLOBAL ID：200903018979188660

走査型プローブ顕微鏡

発明者： 伊東 修一
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-118154
公開番号（公開出願番号）：特開平7-325091
出願日： 1994年05月31日
公開日（公表日）： 1995年12月12日
要約：

【要約】【目的】試料の厚さが変化しても、走査量が変化しない、メカニカルアプローチ機構を備えた走査型プローブ顕微鏡を提供する。【構成】本発明の走査型プローブ顕微鏡は、一端が固定され、Zステージ22に載置された試料4を走査するための円筒型圧電体3と、試料4に対向して配されたプローブ5と、試料4とプローブ5との距離を調節するメカニカルアプローチ機構22,22a,24,24a,25,26,27と、を有する。このメカニカルアプローチ機構は、円筒型圧電体3と試料4との間に配されていることを特徴としている。

請求項（抜粋）：

一端が固定され、試料載置部に載置された試料を走査するための圧電体と、前記試料に対向して配されたプローブと、前記試料とプローブとの距離を調節するメカニカルアプローチ手段と、を有する走査型プローブ顕微鏡において、前記メカニカルアプローチ手段が、前記圧電体と試料載置部に載置される試料との間に配されていることを特徴とする、走査型プローブ顕微鏡。

IPC (5件)：

G01N 37/00 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/28