薬液の塗布方法および装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-357563
公開番号（公開出願番号）：特開平11-179262
出願日： 1997年12月25日
公開日（公表日）： 1999年07月06日
要約：

【要約】【課題】スリットから吐出させる薬剤を、相対移動する基板の表面に塗布する基本的な構成において、塗布開始時および塗布終了時を含めて、全体に膜厚の変動を抑制し、均一に薬液を塗布することを可能にする。【解決手段】相対移動する基板5に対して、後行する第1スリット2と、先行する第2スリット4を、平行に並べて配置したノズル1から、基板5に対して、薬液3の塗布を行うに当たり、塗布開始時に、まず、第1スリット2からの薬液3の吐出を行い、続いて、第2スリット4からの薬液3の吐出を行うように制御することにより、薬液3の塗布開始時の盛り上がりを抑制し、基板5上の面内膜厚を均一化する。

請求項（抜粋）：

薬液吐出ノズルから薬液を吐出させながら、このノズルと、薬液吐出対象としての基板とを相対的に移動させることにより、この基板に薬液を塗布する薬液の塗布方法であって、前記ノズルとして、互いに平行な複数のスリットが、各スリットの幅方向が前記移動の方向に沿ったものとなるように、並んだノズルを用いて、前記薬液を前記基板に塗布することを特徴とする薬液の塗布方法。

IPC (3件)：

B05C 5/02 , B05D 1/26 , G02F 1/13 101

FI (3件)：

B05C 5/02 , B05D 1/26 Z , G02F 1/13 101

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