特許
J-GLOBAL ID:200903018987360684
アモルファスカーボン膜及び容器
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
酒井 宏明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-115004
公開番号(公開出願番号):特開2006-289836
出願日: 2005年04月12日
公開日(公表日): 2006年10月26日
要約:
【課題】アモルファスカーボン膜中のダングリングボンドを水素以外の元素により積極的に終端させ、ガスバリア性を向上させたアモルファスカーボン膜及び該膜を有する容器を提供する。【解決手段】第1のアモルファスカーボン膜は、基材上の少なくとも片面に形成され、ガスバリア性を有するアモルファスカーボン膜であって、膜中の窒素濃度が0.5原子%以上5.0原子%以下とする。又は第2のアモルファスカーボン膜は、基材上の少なくとも片面に形成され、ガスバリア性を有するアモルファスカーボン膜であって、膜中の酸素濃度が0.1原子%以上2.0原子%以下とする。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基材上の少なくとも片面に形成され、ガスバリア性を有するアモルファスカーボン膜であって、
膜中の窒素濃度が0.5原子%以上5.0原子%以下であることを特徴とするアモルファスカーボン膜。
IPC (3件):
B32B 9/00
, B65D 25/34
, C01B 31/02
FI (3件):
B32B9/00 A
, B65D25/34 C
, C01B31/02 101Z
Fターム (49件):
3E062AA06
, 3E062AA09
, 3E062AB02
, 3E062AB03
, 3E062AC02
, 3E062JA01
, 3E062JA07
, 3E062JA08
, 3E062JB24
, 3E062JC04
, 3E062JD01
, 4F100AA37B
, 4F100AD00A
, 4F100AG00A
, 4F100AK01A
, 4F100AK42
, 4F100AT00A
, 4F100BA02
, 4F100BA03
, 4F100DG10A
, 4F100GB16
, 4F100GB41
, 4F100JA12B
, 4F100JD01B
, 4F100JD03
, 4F100JK14
, 4F100JL11
, 4G146AA01
, 4G146AA15
, 4G146AB07
, 4G146AC27A
, 4G146AC27B
, 4G146AD02
, 4G146AD40
, 4G146BA12
, 4G146BC09
, 4G146BC23
, 4G146BC24
, 4G146BC27
, 4G146BC38B
, 4K030AA09
, 4K030AA18
, 4K030BA27
, 4K030BB05
, 4K030CA07
, 4K030CA13
, 4K030FA01
, 4K030LA01
, 4K030LA24
引用特許:
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