レ-ザビ-ムによる微小ドットマ-ク形態、そのマ-キング方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：野口武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-333824
公開番号（公開出願番号）：特開2000-223382
出願日： 1999年11月25日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】視認性に優れた特異な形態をもつ微小なドットを正確に形成し得るためのドットマーキング方法。【解決手段】ビームホモジナイザ3により均勢化されたレーザビームを液晶マスク4を通過して分割されたレーザビームのエネルギー密度を1.0〜15.0J/cm2に設定し、液晶マスクを通過した1ドットごとの各レーザビームを、レンズユニット6により1ドットの最大長さが1〜15μmとなるように縮小して被マーキング物品wの上に結像させてドットマークを形成する。得られるドットマークはレーザ照射点ごとの単一のドットマークからなり、同マークの中央部が被マーキング物品の表面から上方に隆起する被マーキング物品の表面に沿った長さが1〜15μmで、隆起部の高さが0.01〜5μmの隆起部を有しており、微小であるにも関わらず均一な形態で視認性に優れている。

請求項（抜粋）：

レーザを光源として被マーキング物品の表面にマーキングされるドットマーク形態であって、レーザ照射点ごとの単一のドットマークからなり、同マークの中央部が被マーキング物品の表面から上方に隆起する隆起部を有しており、各ドットマークの被マーキング物品の表面に沿った長さが1.0〜15.0μmであり、前記隆起部の高さが0.01〜5.0μmである、ことを特徴とするレーザビームによる微小ドットマーク形態。

IPC (4件)：

H01L 21/02 , B23K 26/00 , H01L 23/00 , B23K101:40

FI (3件)：

H01L 21/02 A , B23K 26/00 B , H01L 23/00 A

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