特許
J-GLOBAL ID：200903018992142563
赤外線アレイセンサの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-321841
公開番号（公開出願番号）：特開平7-174621
出願日： 1993年12月21日
公開日（公表日）： 1995年07月14日
要約：
【要約】【目的】 本発明は機械的強度に優れ、量産性の良い焦電型赤外線アレイセンサを提供することを目的とする。【構成】 焦電体材料片の厚み方向に形成した溝および焦電体材料片の外周部に電気的絶縁性有機物質で充填硬化後、前記溝と直交方向にスライス研磨して複数の焦電体素子が分離配置された焦電体素子アレイを作り、各焦電体素子を焦電体素子アレイの厚み方向に分極し、さらに焦電体素子アレイの一方の面の各焦電体素子表面には接続電極を、他方の面の各焦電体素子表面の電極と導通部が一体なる共通接地電極を形成することによって製造する。
請求項（抜粋）：
所定間隔の溝を焦電体材料片の一方の面から厚み方向に形成し、前記溝および焦電体材料片の外周部を熱伝導率の低い電気的絶縁性有機物で充填硬化し、この後前記溝と直交方向にスライスして焦電体材料片ブロックを形成し、焦電体材料片ブロックの両面を研磨して複数の焦電体素子が分離配置された焦電体素子アレイを作り、各焦電体素子を焦電体素子アレイの厚み方向に分極し、焦電体素子アレイの一方の面の各焦電体素子表面に接続電極を、他方の面に各焦電体素子表面の電極と導通部とが一体なる共通接地電極を形成することを特徴とする焦電型赤外線アレイセンサの製造方法。
IPC (3件)：
G01J 1/02
, G01J 5/02
, H01L 37/02
