特許
J-GLOBAL ID:200903018995462267

厚み滑り水晶振動片の加工方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-312819
公開番号(公開出願番号):特開平10-145165
出願日: 1996年11月07日
公開日(公表日): 1998年05月29日
要約:
【要約】【課題】 パイピング条件を容易に設定できるようにする。【解決手段】厚み滑り水晶振動片のベベル加工またはコンベックス加工に際し、少なくとも厚み滑り水晶振動片の静電容量と振動周波数の両パラメータの変化で加工状態を確認して加工条件を設定する。
請求項(抜粋):
厚み滑り水晶振動片のベベル加工またはコンベックス加工に際し、少なくとも厚み滑り水晶振動片の静電容量と振動周波数の両パラメータの変化で加工状態を確認して加工条件を設定することを特徴とする厚み滑り水晶振動片の加工方法。

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