端面剥膜装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-068659
公開番号（公開出願番号）：特開平11-262722
出願日： 1998年03月18日
公開日（公表日）： 1999年09月28日
要約：

【要約】【課題】四角状基板上にスピンナー等により塗布された周縁部端面のビーズを含めた塗布膜を除去するための端面剥膜装置において、短時間で剥膜が可能で、端面剥膜用溶液の使用量を少なくし、さらに基板の中心部方向に漏れださないようにする端面剥膜装置の提供にある。【解決手段】上記端面剥膜装置1に内蔵されている端面剥膜用溶液射出ノズル2が、剥膜を要する該基板10周縁部端面10aの辺10bに平行で、略45°α2 斜め下で、走行する基板前方へ、もしくは周縁部端面10aの辺10b側へ40°以内の角度α1 で、略45°α2 斜め下で、基板前方へ射出する端面剥膜装置1とし、さらに前記端面剥膜用溶液射出ノズル2より僅かに基板内側で、基板周縁部端面10aの辺10bと平行な位置に、基板10に対し垂直のエアーカーテン70を具備してなる端面剥膜装置としたものである。

請求項（抜粋）：

四角状基板上にスピンナー等により塗布された周縁部端面の塗布膜を除去するための端面剥膜装置において、該端面剥膜装置に内蔵されている端面剥膜用溶液を射出するノズルが、剥膜を要する該基板周縁部端面の辺に平行で、略45°斜め下方で、走行する該基板前方へ、もしくは周縁部端面の辺側へ40°以内の角度で、略45°斜め下方で、走行する該基板前方へ射出することを特徴とする端面剥膜装置。

IPC (3件)：

B05C 11/10 , B05D 3/10 , G03F 7/38 501

FI (3件)：

B05C 11/10 , B05D 3/10 N , G03F 7/38 501

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