特許

J-GLOBAL ID：200903019004619020

収納装置、当該収納装置を用いた露光方法

発明者： 原 真一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 藤元 亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-354682
公開番号（公開出願番号）：特開2005-123292
出願日： 2003年10月15日
公開日（公表日）： 2005年05月12日
要約：

【課題】 内部でのパーティクルの発生を低減して、被搬送体へのパーティクルの付着を防止し、歩留まりを低下させることなく高品位な処理を行うことを可能とする収納装置、当該収納装置を用いた露光方法を提供する。【解決手段】 第1の雰囲気から前記第1の雰囲気と異なる第2の雰囲気に被搬送体を搬送する際に使用される収納装置であって、前記被搬送体と接触する接触面を介して前記被搬送体を支持する支持部と、前記支持部に対して前記被搬送体が摺動することを防止する摺動防止手段とを有することを特徴とする収納装置を提供する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

第1の雰囲気から前記第1の雰囲気と異なる第2の雰囲気に被搬送体を搬送する際に使用される収納装置であって、 前記被搬送体と接触する接触面を介して前記被搬送体を支持する支持部と、 前記支持部に対して前記被搬送体が摺動することを防止する摺動防止手段とを有することを特徴とする収納装置。

IPC (3件)：

H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  H01L21/68

FI (3件)：

H01L21/30 503 ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/68 T

Fターム (14件)：

5F031CA02 ,  5F031CA07 ,  5F031DA12 ,  5F031EA02 ,  5F031EA10 ,  5F031EA14 ,  5F031MA27 ,  5F031NA05 ,  5F031NA07 ,  5F031PA26 ,  5F046CD02 ,  5F046CD04 ,  5F046CD10 ,  5F046DC03

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特許第3320628号公報