特許
J-GLOBAL ID：200903019004644121
圧電アクチュエータ、及び、液体噴射ヘッド
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
津久井 照保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-069235
公開番号（公開出願番号）：特開2004-096069
出願日： 2003年03月14日
公開日（公表日）： 2004年03月25日
要約：
【課題】多層構造の圧電素子における変形の安定性を高める。【解決手段】圧力室12とは反対側の振動板表面に形成された圧電素子は、互いに積層された上層圧電体34及び下層圧電体35からなる圧電体層31と、この圧電体層31に付与される電場を発生する電極層33,36,37とを備える。そして、下層圧電体35と振動板14との間に共通下電極37を、下層圧電体35と上層圧電体34との間に駆動電極33をそれぞれ形成すると共に、下層圧電体35とは反対側の上層圧電体34の表面に共通上電極36を形成する。さらに、上層圧電体34の厚さtp1を下層圧電体35の厚さtp2よりも厚く構成する。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
駆動源としての圧電素子を振動板の表面に形成してなる圧電アクチュエータにおいて、
前記圧電素子は、電場に応じて変形する圧電体層と該圧電体層に付与される電場を発生する電極層とを備え、
前記圧電体層を、互いに積層された上層圧電体と下層圧電体とから構成すると共に、前記電極層を、互いに導通された共通上電極及び共通下電極と、駆動信号の供給源に導通される駆動電極とから構成し、
下層圧電体と上層圧電体との間に駆動電極を形成すると共に、下層圧電体と振動板との間に共通下電極を、駆動電極とは反対側の上層圧電体の表面に共通上電極をそれぞれ形成し、
前記上層圧電体を下層圧電体よりも厚く構成したことを特徴とする圧電アクチュエータ。
IPC (4件)：
H01L41/083
, B41J2/045
, B41J2/055
, F04B43/04
H01L41/08 S
, F04B43/04 B
, B41J3/04 103A
, H01L41/08 N
2C057AF81
, 2C057AF93
, 2C057AG14
, 2C057AG39
, 2C057AG42
, 2C057AG93
, 2C057BA03
, 2C057BA14
, 3H077AA01
, 3H077CC02
, 3H077CC09
, 3H077DD06
, 3H077EE01
, 3H077EE34
, 3H077FF36
