特許
J-GLOBAL ID：200903019014683273
プローブカード及びフロツグリング
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長尾 常明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-160097
公開番号（公開出願番号）：特開平5-041416
出願日： 1991年06月03日
公開日（公表日）： 1993年02月19日
要約：
【要約】【目的】 高周波信号を扱うことができコネクタを使用しないプローブカード及び高周波信号を扱うことができるフロッグリングを各々実現すること。【構成】 プローブカードのプローブを探針とシールド導電層及びその間の絶縁層からなる同軸構造にし、その探針とシールド導電層を基板上の個別の接触端子に接続した。フロッグリングのポゴピンをスプリングピン構造の中心導体とシールド導電層及びその間の絶縁層からなる同軸構造にした。
請求項（抜粋）：
半導体ウエハ上に形成された半導体素子の電気特性試験の実施に使用されるプローブカードにおいて、探針と、該探針を先端を露出させて囲む絶縁層と、該絶縁層の外側に設けたシールド導電層とからなる同軸プローブを基板に設け、上記探針と上記シールド導電層を上記基板上面に設けた接触端子に接続したことを特徴とするプローブカード。
IPC (4件)：
H01L 21/66
, G01R 1/06
, G01R 1/073
, G01R 31/26
