特許

J-GLOBAL ID：200903019015973380

メタルマスクのテンション測定方法及びその装置並びにテンション履歴管理方法及びその装置

発明者： 田中 裕之 ,  前原 洋一郎
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-240117
公開番号（公開出願番号）：特開2001-062996
出願日： 1999年08月26日
公開日（公表日）： 2001年03月13日
要約：

【要約】【課題】経時変化するメタルマスク全体のテンションを正確に逐次測定して記録し、これらテンションの変化の履歴を管理すること。【解決手段】メタルマスク1に対して分銅34を用いて一定荷重を加え、このときのメタルマスク1のテンションをギャップセンサ22を用いて測定し、パーソナルコンピュータ27においてメタルマスク1のテンションに測定日などを付加して履歴情報としてフロッピーディスク33などに記録する。

請求項（抜粋）：

メタルマスクのテンションを測定するメタルマスクのテンション測定方法において、前記メタルマスクに対して一定荷重を加えたときの前記メタルマスクの変位量を測定することを特徴とするメタルマスクのテンション測定方法。

IPC (3件)：

B41F 15/34 ,  B41F 15/08 303 ,  H05K 3/34 505

FI (3件)：

B41F 15/34 ,  B41F 15/08 303 E ,  H05K 3/34 505 D

Fターム (8件)：

2C035AA06 ,  2C035FE00 ,  2C035FF00 ,  2C035FF22 ,  2C035FF26 ,  5E319BB05 ,  5E319CD29 ,  5E319CD51