特許

J-GLOBAL ID：200903019026123451

感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント及びめっきレジストの製造法

発明者： 土川 信次 ,  太田 文彦 ,  中野 昭夫 ,  野尻 剛 ,  石丸 敏明 ,  川本 峰雄 ,  高橋 昭雄 ,  赤星 晴夫
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社 ,  株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-186720
公開番号（公開出願番号）：特開平6-027661
出願日： 1992年07月14日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：

【要約】【目的】 アルカリ現像性、耐無電解銅めっき性、可とう性の優れた感光性脂組成物を提供する。【構成】 例えば、β-(メタ)アクリロイルオキシエチルハイドロジエンフタレートを主成分とする重合性単量体を共重合して得た高分子化合物に、グリシジル(メタ)アクリレリートを付加させた不飽和高分子化合物、末端にエチレン基を2個以上含有する光重合性不飽和化合物及び光開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント及びめっきレジストの製造法に関する。

請求項（抜粋）：

(A)(a)一般式(I)で示されるビニル単量体 5〜100重量部、【化1】(式中R1及びR2は、それぞれ独立して水素原子又はメチル基を示し、nは1又は2の整数を示す)(b)一般式(I)で示されるビニル単量体以外のカルボキシル基を含むビニル単量体 0〜50重量部及び(c)上記(a)及び(b)成分以外のビニル単量体 0〜70重量部を(a)、(b)及び(c)成分の総量が100重量部となる量で共重合して得られる高分子化合物に、(d)オキシラン環及びエチレン性不飽和結合をそれぞれ1個有する化合物を、エポキシ基当量/カルボキシル基当量比を0.2〜0.7の範囲として反応させて得られる不飽和高分子化合物、(B)末端にエチレン基を少なくとも2個有する光重合性不飽和化合物並びに(C)活性光の照射により遊離ラジカルを生成する光開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (8件)：

G03F 7/027 515 ,  G03F 7/027 502 ,  C08F 2/50 MDK ,  C08F299/00 MRN ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/033 ,  H05K 3/18