特許

J-GLOBAL ID：200903019033345990

補助寒冷源を使用した極低温冷凍装置

発明者： 松本 孝三 ,  河村 成人
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-240908
公開番号（公開出願番号）：特開平5-079716
出願日： 1991年09月20日
公開日（公表日）： 1993年03月30日
要約：

【要約】【目的】補助寒冷源熱交換器に過大な温度変動を与えないように補助寒冷源供給量制御を行なうことができる極低温冷凍装置を提供することを目的とする。【構成】補助寒冷源熱交換器に導入する主冷媒低圧ヘリウム温度を補助寒冷源飽和温度より高く設定したプロセスを採用、制御応答性の良い補助寒冷源熱交換器の中圧ヘリウム温度で補助寒冷源供給量制御を行なう。

請求項（抜粋）：

補助寒冷源及び補助寒冷源熱交換器を使用する極低温冷凍装置において、前記補助寒冷源熱交換器に導入される主冷媒低圧ラインの冷媒温度を前記補助寒冷源の飽和温度より高く設定し、制御するように構成したことを特徴とする補助寒冷源を使用した極低温冷凍装置。