特許
J-GLOBAL ID：200903019034568314
加速度センサ
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 成示 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-240145
公開番号（公開出願番号）：特開平7-092187
出願日： 1993年09月27日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：
【要約】【目的】 定加速度も測定できる加速度センサの構造を提供する。【構成】 中空部2aを有する基板2上に、中空部2aを覆うように周辺部が基板2に支持されていると共に、中空部2a上方に、片持ち梁構造のカンチレバー3bが形成された熱絶縁膜3と、カンチレバー3b上面に形成され、温度変化により抵抗値が変化するサーミスタ6とを具備した。【効果】 定加速度の測定が可能となる。
請求項（抜粋）：
中空部を有する基板と、前記中空部を覆うように周辺部が基板に支持されていると共に、前記中空部上方に片持ち梁構造のカンチレバーが形成された熱絶縁膜と、前記カンチレバー上面に形成され、温度変化により抵抗値が変化する感温抵抗体として薄膜抵抗体を用いたサーミスタとを具備したことを特徴とする加速度センサ。
IPC (2件)：
前のページに戻る
