特許
J-GLOBAL ID：200903019039038194
非弾性散乱成分を除去した反射高速電子回折パターンの計測法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-268019
公開番号（公開出願番号）：特開平9-089815
出願日： 1995年09月22日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：
【要約】【課題】 反射高速電子回折法において、反射高速電子回折パターンより非弾性散乱電子を排除し、弾性散乱電子のみを蛍光スクリーンに到達させて、観察、計測又は表示すること【解決手段】 反射高速電子回折法において、電子銃より放射された電子が試料表面において反射し、蛍光スクリーンに投射される間にエネルギーフィルターを挿入し、該フィルターの中央のグリッドにしきい値としての阻止電圧をかけ、非弾性散乱電子を排除し、弾性散乱電子を蛍光スクリーンに投射し、これに映出される回折パターンをモニターカメラで観測し、コントロールシステムのコンピュータでそのパターンの強度及びバックグランドの挙動を計測するようにした反射高速電子回折パターンの計測法。
請求項（抜粋）：
電子銃より放射された電子を試料表面で反射させ、この反射電子をモニターカメラの前面に設けた蛍光スクリーンに投射する反射高速電子回折において、スクリーン前面にエネルギーフィルターを設け、エネルギーフィルターの中央のグリッドに阻止電圧をかけ、該阻止電圧より低い運動エネルギーを有する非弾性散乱電子を阻止し、阻止電圧以上の運動エネルギーを有する散乱電子のみが蛍光スクリーンに到達し、発光するようにし、この回折パターンをモニターカメラで観測し、コントロールシステムで計測するようにしたことを特徴とする非弾性散乱電子を除去した反射高速電子回折パターンの計測法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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