特許

J-GLOBAL ID：200903019040938328

表面にマスキングパターンを形成する方法

発明者： スピークマン,スチュアート ,  ブレスラー,エリック ,  ガードナー,イアン アンドリュー
出願人/特許権者： パターニング テクノロジーズ リミテッド ,  ジェットマスク リミテッド
代理人 (1件)： 斉藤 武彦 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-516021
公開番号（公開出願番号）：特表2003-506886
出願日： 2000年05月30日
公開日（公表日）： 2003年02月18日
要約：

【要約】【課題】 蒸着材料の液滴を付着させる液滴イジェクションの技術を用いて、表面にマスキングパターンを形成する方法を提供する。【解決手段】 上記方法は、上記表面に複数の液滴を付着させて、個別のまたは合着した延長部分を含むようなパターンを形成することを包含する。

請求項（抜粋）：

ドロップ-オンデマンド印刷の技術を用いて、液滴蒸着装置から、表面に、複数の液滴を蒸着させて、マスキングパターンを形成し、該液滴が、蒸着装置と表面との間に配置される操作ゾーンを通過する;および その表面上の液滴の合着を制御するために、操作ゾーンを、電磁線に局所的にさらし、それによりマスキングパターンの固体性を制御する段階を特徴とする、表面にマスキングパターンを形成する方法。

IPC (6件)：

H01L 21/02 ,  B41J 2/01 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/10 ,  H05K 3/28 ,  H05K 3/40

FI (6件)：

H01L 21/02 A ,  H05K 3/06 F ,  H05K 3/10 D ,  H05K 3/28 B ,  H05K 3/40 K ,  B41J 3/04 101 Z

Fターム (32件)：

2C056FB01 ,  2C056FD10 ,  5E314AA32 ,  5E314AA36 ,  5E314AA39 ,  5E314AA40 ,  5E314BB06 ,  5E314DD07 ,  5E314EE09 ,  5E314FF01 ,  5E317AA30 ,  5E317BB01 ,  5E317BB11 ,  5E317CD36 ,  5E339AB02 ,  5E339BC02 ,  5E339BE13 ,  5E339CC01 ,  5E339CC02 ,  5E339CD01 ,  5E339CE18 ,  5E339CF06 ,  5E339DD04 ,  5E343AA17 ,  5E343AA18 ,  5E343AA19 ,  5E343BB24 ,  5E343DD20 ,  5E343DD68 ,  5E343FF05 ,  5E343FF12 ,  5E343GG08