特許
J-GLOBAL ID:200903019049957589

湿度センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 滝本 智之 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-341117
公開番号(公開出願番号):特開平11-101765
出願日: 1997年12月11日
公開日(公表日): 1999年04月13日
要約:
【要約】【課題】 感湿素子を薄く形成することができ、応答速度を向上させることができる湿度センサを提供することを目的とする。【解決手段】 感湿素子部12を印刷技術で形成するとともに、感温素子13,14,15,16を用い、しかも感湿素子部12に抵抗の異なる様に回路配線11を形成することで、高湿から低湿まで、幅広い領域の湿度を確実に感度良く測定できる。
請求項(抜粋):
基板と、前記基板上に印刷技術で形成された多孔質体に感湿材を担持した感湿素子部と、前記感湿素子部に接合した電極とを備え、前記基板の感湿素子部を形成する面の表面粗さを中心線平均粗さで1〜5μmとした事を特徴とする湿度センサ。

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