特許

J-GLOBAL ID：200903019051828184

ウエブの熱処理装置

発明者： 三谷 恵敏 ,  上北 廣一 ,  上田 和人 ,  松本 昌信
出願人/特許権者： 株式会社ヒラノテクシード
代理人 (1件)： 蔦田 璋子 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-022652
公開番号（公開出願番号）：特開平7-234070
出願日： 1994年02月21日
公開日（公表日）： 1995年09月05日
要約：

【要約】【目的】 チャンバー内部のウエブの走行路の上下に沿ってノズルが千鳥状に複数個配され、前記チャンバー内部に搬入されたウエブを、前記ノズルから噴射する熱風によって略正弦波のフローティング状態で熱処理または乾燥を行う熱処理装置において、フローティング状態を、自動的に調整することができるウエブの熱処理装置を提供する。【構成】 ウエブWのテンションを調整するテンション調整手段56,58、ノズルの風速を調整するファン20,22と、設定フローティング高さの入力手段42と、入力手段42に入力された設定フローティング高さに合わせて、テンション調整手段56,58またはファン20,22によってウエブWのテンションまたはノズルの風速を調整し、ウエブWのフローティング高さを設定フローティング高さに制御する制御手段60とよりなる。

請求項（抜粋）：

チャンバー内部のウエブの走行路の上下に沿ってノズルが千鳥状に複数個配され、前記チャンバー内部に搬入されたウエブを、前記ノズルから噴射する熱風によって略正弦波のフローティング状態で熱処理または乾燥を行う熱処理装置において、ウエブのテンションを調整するテンション調整手段と、ノズルの風速を調整する風速調整手段と、設定フローティング高さを入力するための設定フローティング高さ入力手段と、前記設定フローティング高さ入力手段に入力された設定フローティング高さに合わせて、前記テンション調整手段または前記風速調整手段によってウエブのテンションまたはノズルの風速を調整し、ウエブのフローティング高さを設定フローティング高さに制御する制御手段とよりなることを特徴とするウエブの熱処理装置。

IPC (4件)：

F26B 13/12 ,  D06B 15/09 ,  F26B 13/20 ,  C21D 9/63

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-279460
  
• ウエブ案内装置の制御方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-214741   出願人：三菱重工業株式会社
• 特開昭60-042586