特許
J-GLOBAL ID：200903019055591529
紫外レーザ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-277352
公開番号（公開出願番号）：特開平7-181534
出願日： 1994年11月11日
公開日（公表日）： 1995年07月21日
要約：
【要約】【目的】反射損失を少なくし、かつ非線形光学素子の温度上昇による位相整合の乱れを容易に調整できる波長変換効率の高い紫外レーザ装置を提供する。【構成】レーザ光軸上に第2高調波発生素子などの非線形光学素子を配置して周波数変換されたレーザ光を出力するレーザ装置において、非線形光学素子のレーザ光入出射面をシリンドリカルレンズ状の凸面とし、かつ両凸面の曲率中心軸が一致するような形状にするとともにその曲率中心軸がレーザ光軸に直交するように構成した。さらに、上記曲率中心軸を回転軸として非線形光学素子を回転可能にすることにより、位相整合角の最適制御を行えるようにした。レーザ光入出射面の曲率中心軸が回転軸と一致しているので非線形光学素子を回転してもレーザ光源の基本波の光軸ズレを生じないので基本波レーザ出力の低下を抑制できる。また、非線形光学素子に微小回転角変動を与えて第2高調波出力光などの出力レーザ光の変化を検出して上記位相整合角を自動的に制御することにより、非線形光学素子の波長変換効率が常に最大に保てるようにする機構も付加できる。
請求項（抜粋）：
レーザ光源と、前記レーザ光源の光軸上に配置された円筒状凸面を有する柱状の非線形光学素子とを有し、前記非線形光学素子のレーザ光入出射面は前記光軸と直交する方向に延在する円筒状凸面を有し、前記円筒状凸面はレーザ光入射側の曲率中心軸とレーザ光出射側の曲率中心軸とが一致するような形状でかつその曲率中心軸がレーザ光軸に直交するように構成されていることを特徴とするレーザ装置。
IPC (3件)：
G02F 1/37
, H01S 3/083
, H01S 3/109
