特許

J-GLOBAL ID：200903019060117843

パルスレーザ診断システム及び方法

発明者： ライナー・デゾア
出願人/特許権者： ラムダ・フィジーク・ゲゼルシャフト・ツァ・ヘルシュテルンク・フォン・ラーゼルン・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング
代理人 (1件)： 奥山 尚一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-075153
公開番号（公開出願番号）：特開2000-286480
出願日： 2000年03月17日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：

【要約】【課題】 パルスレーザのトリガ・チェーンにおける故障モジュールを自動的に特定して故障時間を減少させことができるパルスレーザ診断システム及び方法を提供する。【解決手段】 複数の電気モジュール110,120,135,140,155,165及び180に属する個々のモジュールの出力端子にそれぞれ接続され、かつ、それぞれに関連する電気モジュールの出力に応じてカウント信号をそれぞれ生成する複数のカウンタ125,130,145,150,170,175及び185と、これら複数のカウンタのそれぞれのカウント信号の間の差が関連する電気モジュールの動作上の問題を特定するために使用され得るように、複数のカウンタの各々によって生成されたカウント信号を記録するためのプロセッサ190とを備える。

請求項（抜粋）：

電流パルスによって励起されてレーザ光のパルスを生成するガス放電チャンバを取り囲む共振器を備え、前記電流パルスを生成する複数の電気モジュールの動作を開始させるトリガ信号に応答して前記電流パルスが発生されるようにしたレーザにおいて、前記複数の電気モジュールのそれぞれの性能をモニタし、不具合を診断するシステムであって、(A) 前記複数の電気モジュールに属する個々のモジュールの出力端子にそれぞれ接続され、かつ、それぞれに関連する電気モジュールの出力に応じてカウント信号をそれぞれ生成する複数のカウンタと、(B) 前記複数のカウンタのそれぞれのカウント信号の間の差が関連する前記電気モジュールの動作上の問題を特定するために使用され得るように、前記複数のカウンタの各々によって生成されたカウント信号を記録するためのプロセッサと、を備えたことを特徴とするパルスレーザ診断システム。