表面波共振子、表面波装置、通信機装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-127387
公開番号（公開出願番号）：特開2000-323955
出願日： 1999年05月07日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：

【要約】【課題】挿入損失を劣化させることなく、エッチングの際に生じる電極指幅や膜厚のバラツキによる周波数のバラツキを抑えることのできる表面波装置を提供する。【解決手段】オイラー角(0°,121°〜136°,87〜93°)である水晶基板上にTaからなり電極指幅/(電極指幅+電極指間のスペース)が0.55〜0.85であるIDT及び反射器を構成する。

請求項（抜粋）：

圧電基板と、前記圧電基板上に形成されており、前記圧電基板の圧電材料より比重が大きい金属又は合金により構成されることによりSH波を励振するIDTとを備える表面波共振子であって、前記IDTを構成する電極指の電極指幅/(電極指幅+電極指間のスペース)が0.55〜0.85であることを特徴とする表面波共振子。

IPC (2件)：

H03H 9/25 , H03H 9/64

FI (2件)：

H03H 9/25 C , H03H 9/64 Z

Fターム (8件)：

5J097AA28 , 5J097AA31 , 5J097BB01 , 5J097CC01 , 5J097DD04 , 5J097GG02 , 5J097GG07 , 5J097KK03

引用特許：

出願人引用 (2件)

弾性表面波装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-036001 出願人：株式会社村田製作所
特開昭60-039909

審査官引用 (2件)

弾性表面波装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-036001 出願人：株式会社村田製作所
特開昭60-039909

前のページに戻る