特許
J-GLOBAL ID:200903019077669084
圧電素子
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小池 晃 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-265726
公開番号(公開出願番号):特開平8-125245
出願日: 1994年10月28日
公開日(公表日): 1996年05月17日
要約:
【要約】【目的】 動作寿命及び動作安定性を大幅に向上させることを可能として、製品の歩留り及び信頼性の大幅な向上を図る。【構成】 各圧電板1,2のそれぞれの上面1a,2a及び下面1b及び2bの表面粗度を、最大高さRmaxで0.1μm以上2.3μm以下として圧電素子を構成する。
請求項(抜粋):
誘電体よりなる圧電板を有し、前記圧電板に所定の電圧を印加する或は所定の応力を加えることにより当該電圧或は応力に比例した歪み或は電圧を前記圧電板に発生させる圧電素子において、上記圧電板の表面粗度が、最大高さRmaxで0.1μm以上2.3μm以下であることを特徴とする圧電素子。
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