インクジェットヘッドの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：稲元富保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-155607
公開番号（公開出願番号）：特開平11-348297
出願日： 1998年06月04日
公開日（公表日）： 1999年12月21日
要約：

【要約】【課題】低コストで集積度の高い圧力発生ユニットが得られない。【解決手段】 PZT材料の微粒子31をガス中に混合してエアロゾル状態にし、このエアロゾル状態にした微粒子31をノズルから噴射するエアロゾル式プリンティング法によって下部電極16上に圧電材料の微粒子からなる圧電膜17を成膜する。

請求項（抜粋）：

複数の圧力室と、各圧力室の一面を封止する振動板と、この振動板の外面に前記各圧力室に対応して配置した複数の電気機械変換素子を備えるインクジェットヘッドの製造方法において、電気機械変換材料の微粒子をガス中に混合してエアロゾル状態にし、このエアロゾル状態の電気機械変換材料の微粒子をノズルから噴射して前記振動板上に成膜することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。

IPC (3件)：

B41J 2/16 , B41J 2/045 , B41J 2/055

FI (2件)：

B41J 3/04 103 H , B41J 3/04 103 A

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