特許
J-GLOBAL ID：200903019087459371
振動式センサ試験装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-244931
公開番号（公開出願番号）：特開平6-094554
出願日： 1992年09月14日
公開日（公表日）： 1994年04月05日
要約：
【要約】【目的】 ローレンジの振動式センサの特性を効率良く測定することができるように改良した振動式センサ試験装置を提供するにある。【構成】 固有振動数の変化から印加された歪に対応する物理量を検出する振動式センサの特性を試験する振動式センサ試験装置に係り、先の振動式センサに印加する真空度を調整する真空度調整手段と、ほぼ一定の電圧で周波数を掃引して先の振動式センサに周波数信号を出力すると共に対応して先の振動式センサから出力される振動振幅信号に含まれる共振周波数を検出するスペクトラムアナライズ手段と、先の真空度調整手段に先の真空度を変更する設定信号を出力して測定される実真空度に対応するデータを取得すると共に先のスペクトラムアナライズ手段を起動して得た共振周波数と先の実真空度から所定の演算式により大気圧下における先の振動式センサの共振周波数を演算する演算制御手段とを具備するようにしたものである。
請求項（抜粋）：
固有振動数の変化から印加された歪に対応する物理量を検出する振動式センサの特性を試験する振動式センサ試験装置において、前記振動式センサに印加する真空度を調整する真空度調整手段と、ほぼ一定の電圧で周波数を掃引して前記振動式センサに周波数信号を出力すると共に対応して前記振動式センサから出力される振動振幅信号に含まれる共振周波数を検出するスペクトラムアナライズ手段と、前記真空度調整手段に前記真空度を変更する設定信号を出力して測定される実真空度に対応するデータを取得すると共に前記スペクトラムアナライズ手段を起動して得た共振周波数と前記実真空度から所定の演算式により大気圧下における前記振動式センサの共振周波数を演算する演算制御手段とを具備することを特徴とする振動式センサ試験装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
