特許
J-GLOBAL ID：200903019097737086
ハロゲン化物を含まないケイ素含有化合物の垂直充填層フイルム蒸発器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柳田 征史 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-521095
公開番号（公開出願番号）：特表平10-511923
出願日： 1995年12月19日
公開日（公表日）： 1998年11月17日
要約：
【要約】プレフォームを製造するのに用いられる、ハロゲン化物を含有せずケイ素を含有する液体反応体の気化器(13)を提供する。気化器は、中央管(24)を囲む複数の充填層カラム(22)を備えている。液体反応体、例えば、オクタメチルシクロテトラシロキサンと、ガス、例えば、酸素との混合物が一連の噴霧ノズル(32)によりカラム(32)の上面(54)に吹き付けられる。液体反応体およびガスは、カラムを通って互いに下方に流動し、カラムの壁(50)の周りに流動する熱油(28)により加熱される。液体反応体は、露点温度に達するまでガス中に蒸発し、その時点で液体反応体の全てが蒸気に転化される。蒸気/ガス混合物はカラム(22)の底面(56)から流出し、そこで流動方向を下方から上方に変化させる。この流動方向の変化により、蒸気/ガス混合物から高分子量の種(46)を分離する。蒸気/ガス混合物は中央管(24)を通って気化器(13)から流出し、プレフォームを製造するのに用いられるスート製造バーナー(20)に供給される。
請求項（抜粋）：
二酸化ケイ素含有プレフォームの成形に使用される液体反応体を気化する装置であって、該反応体が重合して高分子量の種を形成可能であり、該装置が、 上面、底面、および最大値がPmaxである内部動作圧を有する垂直配列充填層カラム; (a) 該液体反応体を該充填層カラムに第1の所定の流速で導入して、該液体反応体を該カラムの断面積に亘り分布させ、 (b) ガスを第2の所定の流速で該充填層カラムの上面の領域にあるカラムに導入し、 それによって、該液体反応体およびガスの両方が該充填層カラムを通って下方に流動する導入手段; 該充填層カラムの底面に到達する前に、所定の流速の該液体反応体およびガスがPmaxでの液体反応体の露点温度よりも高い温度に加熱されるように、該充填層カラムを十分に高温に加熱して、それによって、該液体反応体が、前記底面に到達する前に気化され、気化した反応体および前記ガスの混合物(蒸気/ガス混合物)としてその表面から流出する加熱手段; 前記充填層カラムの底面から流出する前記蒸気/ガス混合物を収容する収容手段; 前記蒸気/ガス混合物から前記反応体の高分子量の種を分離する、前記充填層カラムの底面と、前記収容手段との間にある分離手段;および 該分離手段から該反応体の高分子量の種を除去する除去手段からなることを特徴とする装置。
IPC (4件)：
C03B 37/018
, C03B 8/02
, C23C 16/44
, G02B 6/00 356
C03B 37/018 Z
, C03B 8/02
, C23C 16/44 C
, G02B 6/00 356 A
