微小ワーク搭載装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：仁科勝史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-048186
公開番号（公開出願番号）：特開2003-249519
出願日： 2002年02月25日
公開日（公表日）： 2003年09月05日
要約：

【要約】【課題】レーザ変位計等の高価な装置を用いずに吸着ノズルの適正な下降量を求め、微小ワークを被搭載物状に確実に搭載することのできる微小ワーク搭載装置を提供すること。【解決手段】本発明は、微小ワーク搭載装置に次の手段を採用する。第1に、吸着ノズルと、圧力検出手段と、吸着ノズルを被搭載物の搭載面に接近隔離させる移動手段と、移動手段を制御する制御手段を設ける。第2に、ワークを保持しない吸着ノズルに負圧若しくは正圧をかけながら、吸着ノズルを搭載面に接近させて吸着ノズルの内部圧力の変化を検出する。第3に、予め設定した所定圧力となる位置への吸着ノズルの移動量を求める。第7に、移動量に基づいて吸着ノズルの移動を制御手段により制御して微小ワークを搭載する。

請求項（抜粋）：

微小ワークを被搭載物の搭載面に搭載する微小ワーク搭載装置において、微小ワークを吸引して保持する吸着ノズルと、吸着ノズルの内部圧力の変化を検出する圧力検出手段と、吸着ノズルを被搭載物の搭載面に接近隔離させる移動手段と、移動手段を制御する制御手段とを備え、微小ワークを保持しない状態で吸着ノズルに負圧若しくは正圧をかけながら、吸着ノズルを上記搭載面に接近させて吸着ノズルの内部圧力の変化を検出し、予め設定した所定圧力となる位置への吸着ノズルの移動量を求め、この移動量に基づいて吸着ノズルの移動を上記制御手段により制御して微小ワークを搭載することを特徴とする微小ワーク搭載装置。

IPC (3件)：

H01L 21/60 , B25J 9/10 , B25J 15/06

FI (3件)：

B25J 9/10 A , B25J 15/06 C , H01L 21/92 604 A

Fターム (12件)：

3C007AS09 , 3C007AS24 , 3C007BS03 , 3C007CT03 , 3C007CV05 , 3C007DS01 , 3C007FS01 , 3C007FU04 , 3C007KS30 , 3C007LT12 , 3C007MT04 , 3C007NS08

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