特許

J-GLOBAL ID：200903019104777048

縦型炉用ウェハボート

発明者： 鶴来 昌樹 ,  町田 隆志 ,  宮田 敏光
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  国際電気株式会社
代理人 (1件)： 沼形 義彰 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-032369
公開番号（公開出願番号）：特開2000-232151
出願日： 1999年02月10日
公開日（公表日）： 2000年08月22日
要約：

【要約】【課題】 ウェハが大口径化され、処理温度が上昇した際のウェハ自重による応力発生を抑制し、熱応力の影響を受けにくくすることができ、そして、縦型拡散炉及び縦型気相成長炉における熱処理時にウェハとウェハボートの接触部分でのスリップ発生を防止して、スリップによるデバイス特性への影響が削除され、デバイスの歩留まり向上に著しい効果をもたらすことができる縦型炉用ウェハボートを提供する。【解決手段】 複数本の支柱4を縦方向に配列し、そして、それらの支柱4に所定の間隔で設けられた略平板状の支柱支持部41にそれぞれウェハ2を積載する縦型炉用ウェハボート3において、ウェハ受入方向最前列の支柱4b、4cは、支柱本体部40b、40cの断面を略弓形状又は略部分弓形状とする。また、支柱支持部41b、41cを支柱本体部40b、40cのウェハ受入方向前方端部に設ける。

請求項（抜粋）：

複数本の支柱を縦方向に配列し、そして、それらの支柱に所定の間隔で設けられた略平板状の支柱支持部にそれぞれウェハを積載する縦型炉用ウェハボートにおいて、ウェハ受入方向最前列の支柱は、支柱本体部の断面が略弓形状又は略部分弓形状であることを特徴とする縦型炉用ウェハボート。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/22 511 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/324

FI (4件)：

H01L 21/68 N ,  H01L 21/22 511 G ,  H01L 21/31 E ,  H01L 21/324 Q

Fターム (13件)：

5F031HA65 ,  5F031HA66 ,  5F031MA28 ,  5F031PA11 ,  5F031PA18 ,  5F045AA20 ,  5F045AD14 ,  5F045BB13 ,  5F045DP19 ,  5F045EC02 ,  5F045EM02 ,  5F045EM08 ,  5F045EM09