特許

J-GLOBAL ID：200903019110600834

液体供給監視装置と液体供給監視方法

発明者： 青山 進
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-195772
公開番号（公開出願番号）：特開平8-062085
出願日： 1994年08月19日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：

【要約】【目的】 半導体ウェーハ処理液の処理容器への供給監視装置とその方法に係り、特に液体供給配管系における異常を速やかに検知して対処し得るように構成して生産性向上を図ることを目的とする。【構成】 液体処理容器に一定流量の処理液を供給する定量液供給配管系を備えた液体供給監視装置を、液源と前記処理容器とを繋ぐ配管途中に、該処理容器1からの作動信号で開閉する流液弁242,243 と流量制御弁241 とが配されている定量液供給配管系24と、該配管系内の複数箇所の管壁外面に接して装着され、各装着域近傍配管内の液流に起因して発生する音響エネルギを電圧波形信号として連続して出力するセンサ31-1〜31-4と、該電圧波形信号をベースとして上記定量液供給配管系24における異常発生を検出して警報信号と上記液体処理容器1への緊急停止信号とを発信する異常検出回路部4、とを備えて構成する。

請求項（抜粋）：

液体処理容器に一定流量の処理液を供給する定量液供給配管系を備えた液体供給監視装置であって、液源と前記液体処理容器とを繋ぐ配管途中に、該液体処理容器からの作動信号で開閉する流液弁と流量制御弁とが配設されている定量液供給配管系と、該定量液供給配管系内の複数箇所の管壁外面に接して装着され、各装着域近傍配管内の液流に起因して発生する音響エネルギを電圧波形信号として連続して出力するセンサと、該電圧波形信号をベースとして上記定量液供給配管系における異常発生を検出して警報信号と上記液体処理容器への緊急停止信号とを発信する異常検出回路部とを備えていることを特徴とする液体供給監視装置。

IPC (3件)：

G01M 3/24 ,  G01H 17/00 ,  G01N 29/14

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 漏洩検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-060329   出願人：株式会社日立製作所
• 特開平4-326034
  
• 特開平4-326034