特許
J-GLOBAL ID：200903019115549888
被処理体検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
佐々木 聖孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-321269
公開番号（公開出願番号）：特開平6-151401
出願日： 1992年11月05日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：
【要約】[目的]特別な位置決め機構を特別な検出時間を不要とし、何時でも何処でも被処理体検出を行えるようにする。[構成]ウエハチヤック18の一方のウエハ把持アーム32A側の垂直フレーム杆24A,26A間には発光部34Aがほぼ水平に取付され、他方のウエハ把持アーム32A側の垂直フレーム杆24B,26B間には受光部34Bがほぼ水平に取付される。発光部34Aは、垂直フレーム杆24A,26Aの相対向する内側面に両端をシールして挿着または溶着された円筒状の石英管36Aをケーシングとし、この石英管36Aの中に所定数の発光素子38Aを所定の間隔を置いて配設してなる。受光部34Bは、垂直フレーム杆24B,26Bの相対向する内側面に両端をシールして挿着または溶着された円筒状の石英管36Bをケーシングとし、この石英管36の中に所定数の受光素子38Bを所定の間隔を置いて配設してなる。
請求項（抜粋）：
複数の板状の被処理体を所定の間隔を置いて配列した状態で一対のアームで把持して搬送する搬送手段と、前記搬送手段の一方のアームに取付され、前記複数の被処理体を光学的に検出するための発光素子を有する発光部と、前記搬送手段の他方のアームに取付され、前記複数の被処理体を光学的に検出するための受光素子を有する受光部と、を具備したことを特徴とする被処理体検出装置。
IPC (5件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
, B08B 3/04
, G01V 9/04
, H01L 21/68
