特許

J-GLOBAL ID：200903019120125565

エッジ検出装置

発明者： 中村 泰三
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 伊丹 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-314030
公開番号（公開出願番号）：特開平8-145621
出願日： 1994年11月24日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：

【要約】【目的】 簡単な操作で高精度のエッジ位置検出を可能としたエッジ検出装置を提供する。【構成】 スケール1の目盛り線エッジ像は対物レンズ2で拡大されて第1のビームスプリッタ3に入り、その透過像は第2のビームスプリッタ4に入る。第2のビームスプリッタ4の透過像を検出する第1の受光素子5a、第1のビームスプリッタ3の反射像を検出する第2の受光素子5b、及び第2のビームスプリッタ4の反射像を検出する第3の受光素子5cが、それぞれスリット6a,6b,6cによって目盛り線エッジと平行な線状受光面を持つように、且つスケール1を目盛り線と直交する方向に移動させたときに目盛り線エッジ像が順次受光されるようにそれらの線状受光面位置が設定されて配置される。

請求項（抜粋）：

平行な目盛り線が複数本配列形成されたスケールの目盛り線エッジを光学的に検出する装置であって、前記スケールの目盛り線のエッジ像を拡大する対物レンズと、この対物レンズにより拡大されたエッジ像を半分透過させ半分反射する第1のビームスプリッタと、この第1のビームスプリッタの透過像を半分透過させ半分反射させる第2のビームスプリッタと、この第2のビームスプリッタの透過像を検出する前記目盛り線エッジと平行な線状受光面を持つ第1の受光手段と、前記第1のビームスプリッタの反射像を検出する前記目盛り線エッジと平行な線状受光面を持つ第2の受光手段と、前記第2のビームスプリッタの反射像を検出する前記目盛り線エッジと平行な線状受光面を持つ第3の受光手段とを備え、前記第1,第2及び第3の受光手段は、前記スケールを目盛り線と直交する方向に移動させたときに目盛り線エッジ像が順次受光されるように、それらの線状受光面位置が設定されていることを特徴とするエッジ検出装置。