強誘電体膜

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-085419
公開番号（公開出願番号）：特開2004-292218
出願日： 2003年03月26日
公開日（公表日）： 2004年10月21日
要約：

【課題】本発明は、簡便な組成でありながら高品質で熱処理持による微少な組成ずれがなく、誘電性、焦電性、圧電性、強誘電性、電気光学性、光起電力性、電歪、光歪などの有効な特性を有し、しかも高速かつ低コストで製造することが可能な新規な強誘電体膜を提供する。【解決手段】配向制御層の上に強誘電体層を設けた強誘電体膜であって、該配向制御層として、強誘電体層形成材料と同一の成分を有する強誘電体材料を用いた強誘電体膜。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

配向制御層の上に強誘電体層を設けた強誘電体膜であって、該配向制御層として、強誘電体層形成材料と同一の成分を有する強誘電体材料を用いることを特徴とする強誘電体膜。

IPC (3件)：

C30B29/32 , H01L27/105 , H01L41/187

FI (3件)：

C30B29/32 D , H01L27/10 444C , H01L41/18 101D

Fターム (25件)：

4G077AA03 , 4G077BC43 , 4G077DA01 , 4G077DB01 , 4G077ED06 , 4G077EF02 , 4G077EF03 , 4G077HA11 , 4G077SA04 , 4G077SA06 , 4G077TA04 , 4G077TC14 , 4G077TK01 , 5F083FR01 , 5F083JA02 , 5F083JA14 , 5F083JA15 , 5F083JA17 , 5F083JA36 , 5F083JA38 , 5F083JA39 , 5F083JA42 , 5F083PR21 , 5F083PR22 , 5F083PR23

引用特許：

審査官引用 (3件)

薄膜の形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-283723 出願人：沖電気工業株式会社
マイクロアクチュエータおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-289833 出願人：学校法人関西大学
強誘電体薄膜およびその形成方法とこれを用いた強誘電体薄膜素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-030043 出願人：松下電器産業株式会社

引用文献：

審査官引用 (2件)

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