特許
J-GLOBAL ID：200903019121430817
傷検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内原 晋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-046314
公開番号（公開出願番号）：特開平5-149888
出願日： 1991年03月12日
公開日（公表日）： 1993年06月15日
要約：
【要約】【目的】太陽電池パネルのような大面積かつ被検査物の位置決めが困難な検査対象の傷検査を高速・高精度に行なう。【構成】光走査機構10による走査光の被検査面からの反射光を光電変換回路12で受光し画像データとして入力する。画像データを3値化回路14で一度3値化する。データ変換回路16で3値化したデータの最大値を最小値に置換えて2値化する。この2値化した画像データの中の端点および交点を検出することで傷を検出する。また別の検出法として、3値化したデータの最大値に隣接部分を最大値に置換え拡大し、最大値を最小値に置換え2値化する。中間値から傷を検出する。
請求項（抜粋）：
被検査物の検査面を光によって走査する光走査機構と、この光走査機構による走査光の検査面からの反射光を受光し電気信号に変換する光電変換回路と、この光電変換回路からの出力信号を予め設定した二つの閾値によって3値化する3値化回路と、この3値化回路からの出力信号を記憶する画像メモリ回路と、この画像メモリ回路に記憶された3値信号のうちの最大値と最小値との信号の何れかの信号を一方の値に置換えて2値信号に変換するデータ変換回路と、このデータ変換回路の出力をラスタスキャンすることにより中間値の信号の端点および交点を検出する端点・交点検出回路と、この端点・交点検出回路の端点および交点検出から傷を判定する判定回路とを有することを特徴とする傷検査回路。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G06F 15/62 400
