特許
J-GLOBAL ID：200903019121970609
熱処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-019237
公開番号（公開出願番号）：特開平9-191015
出願日： 1996年01月11日
公開日（公表日）： 1997年07月22日
要約：
【要約】【課題】 加工物を熱処理板に載置する際のエアクッションによる加工物の移動を防止し、また、載置手段の動作による加工物への衝撃を緩和する。【解決手段】 加工物1が近接した状態もしくは接触した状態で載置される熱処理板4と、加工物を熱処理板上に載置する手段とを有する熱処理装置において、熱処理板はその上面に多数の細溝を有する。また、載置手段は、加工物を水平な状態で上下動させることにより熱処理板上への載置および取上げを行うものであり、かつその上下動の始点および終点において上下動速度を曲線的に加減速するものである。載置手段は、加工物を支持し、熱処理板の貫通孔を通して上下動することができる支持ピンを有する支持部材2、5と、この支持部材を上下動させるS字状カム6とを有するものとして構成することができる。
請求項（抜粋）：
加工物が近接した状態もしくは接触した状態で載置される熱処理板と、加工物を熱処理板上に載置する手段とを有する熱処理装置において、熱処理板はその上面に多数の細溝を有することを特徴とする熱処理装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/324 D
, H01L 21/68 N
