特許
J-GLOBAL ID：200903019124444622

外力検知センサ

発明者：
小口 貴弘

小口 貴弘 について

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小中 義宏

小中 義宏 について

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柴原 輝久

柴原 輝久 について


出願人/特許権者：
株式会社村田製作所

株式会社村田製作所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-205324
公開番号（公開出願番号）：特開2002-022446
出願日： 2000年07月06日
公開日（公表日）： 2002年01月23日
要約：
【要約】【課題】 外力検知センサの可動部を収容したキャビティを狭く構成するとエアダンピングの影響を受けるので、キャビティを広く構成するが、キャビティの天面20a及び底面20bを高くし過ぎると、可動部が垂直方向に移動する範囲が広がり、外力検知センサに外部から衝撃力が加わったとき、可動部の可動櫛歯電極21が固定部の固定櫛歯電極31,41の上に乗上げた儘となり、外力検知センサが動作不能となる。【解決手段】 固定櫛歯電極31,41からキャビティの天面20a及び底面20bまでの高さDを、可動櫛歯電極21及び固定櫛歯電極31,41の幅W1,W2,W3、可動櫛歯電極21及び固定櫛歯電極31,41の高さh、可動櫛歯電極21と固定櫛歯電極31,41の間の微少間隙g1,g2を要素として設定し、可動部が梁の弾力により確実に静止時の位置に復帰するように構成する。
請求項（抜粋）：
支持部及び該支持部に梁で連結され断面方形の可動櫛歯電極を有する可動部並びに前記可動櫛歯電極と微少間隙を介して対向する断面方形の固定櫛歯電極を有する固定部を含む機能素子と、前記機能素子を一方の表面側から支持する支持基板と、前記機能素子に他方の表面側から取付ける蓋基板とを備え、前記梁及び前記可動部を含む部分に前記可動部の変位を可能にするキャビティを形成し、前記微少間隙をg、前記可動櫛歯電極の幅をW1、前記固定櫛歯電極の幅をW2、前記可動櫛歯電極及び前記固定櫛歯電極の高さをhとするとき、前記固定櫛歯電極から前記キャビティの天面及び底面までの高さDが次式を満足することを特徴とする外力検知センサ。【数1】
IPC (5件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/18 ,  G01P 15/125 ,  H01L 29/84
FI (5件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/125 ,  H01L 29/84 Z ,  G01P 15/00 K
Fターム (16件)：
2F105BB04 ,  2F105BB15 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA36 ,  4M112DA03 ,  4M112DA18 ,  4M112EA02 ,  4M112EA13 ,  4M112GA01
引用特許：
審査官引用 (2件)

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