特許

J-GLOBAL ID：200903019126372696

薬液の高温加熱装置

発明者： 小玉 和夫 ,  宮崎 弘明 ,  木村 諦四 ,  早坂 知紘 ,  片岡 美春
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所 ,  小松エレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 米原 正章 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-153786
公開番号（公開出願番号）：特開平6-029275
出願日： 1991年05月30日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：

【要約】【目的】 熱交換筒内を流れる薬液の単位容積当たりに受ける熱量が大きくなり、熱交換率がよくなって温度上昇の待ち時間が短くなり、また装置全体を小型化することができる薬液の高温加熱装置を提供することにある。【構成】 熱交換筒を中空の環状筒形に構成し、これの内側と外側に、これの内面及び外面に沿ってヒータを配置した構成になっている。

請求項（抜粋）：

中空の環状筒形に構成され、かつ直径方向一方に入口管16を、他方に出口管17を上記中空部に接続して設けた環状の熱交換筒15の内側と外側に、この熱交換筒15の円周面と外周面に沿わせてヒータ18,19を配置したことを特徴とする薬液の高温加熱装置。

IPC (4件)：

H01L 21/304 341 ,  C02F 1/02 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/306