特許
J-GLOBAL ID：200903019126772228
放射線検出素子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-003929
公開番号（公開出願番号）：特開平5-188148
出願日： 1992年01月13日
公開日（公表日）： 1993年07月30日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 放射線検出素子を改良する。【構成】 複数の凹部が表面側に形成された基板と、この基板の裏面に半導体薄膜31を堆積して形成され、複数の光電変換部を有する受光素子アレイと、複数の凹部に埋め込まれたシンチレータ43とを備える。シンチレータ43が埋め込まれた基板の裏面に、半導体薄膜31の堆積による固体撮像素子アレイが設けられるので、貼り合わせによる位置ずれや、接着剤による光損失を本質的に克服できる。そして、反射膜44を設けることにより、シンチレーション光を効率よく光電変換部に入射でき、凹部の側壁を表面側で薄くすることにより、放射線の入射効率を高め得る。
請求項（抜粋）：
複数の凹部が表面側に形成された基板と、この基板の裏面に半導体薄膜を堆積して形成され、複数の光電変換部を有する受光素子アレイと、前記複数の凹部に埋め込まれたシンチレータとを備えることを特徴とする放射線検出素子。
IPC (3件)：
G01T 1/20
, H01L 27/14
, H01L 31/09
H01L 27/14 K
, H01L 31/00 A
