特許

J-GLOBAL ID：200903019132745828

α-[p-(ジエチルアミノ)フエニル-N-(アルキルフエニル)ニトロン化合物及び光脱色性材料

発明者： 渡辺 聡 ,  石原 俊信 ,  伊藤 健一
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 小島 隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-229517
公開番号（公開出願番号）：特開平5-043540
出願日： 1991年08月15日
公開日（公表日）： 1993年02月23日
要約：

【要約】【目的】 微細なレジストパターンの形成が可能となるコントラスト増強用の光脱色性材料の主成分として有用なニトロン化合物を得る。【構成】 下記一般式(1)で表わされるα[p-(ジエチルアミノ)フェニル]-N-(アルキルフェニル)ニトロン化合物。【化1】(但し、式中R1,R2,R3,R4及びR5はそれぞれ同種又は異種の1価のアルキル基又は水素原子であり、かつ少なくとも1つは1価のアルキル基である。)

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)で表わされるα-[p-(ジエチルアミノ)フェニル]-N-(アルキルフェニル)ニトロン化合物。【化1】(但し、式中R1,R2,R3,R4及びR5はそれぞれ同種又は異種の1価のアルキル基又は水素原子であり、かつ少なくとも1つは1価のアルキル基である。)

IPC (2件)：

C07C291/02 ,  H01L 21/027