特許
J-GLOBAL ID：200903019134993942
マイクロレンズアレイおよびその製作法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-223713
公開番号（公開出願番号）：特開平5-045504
出願日： 1991年08月09日
公開日（公表日）： 1993年02月23日
要約：
【要約】【目的】 低い温度で製作でき、かつ画像情報処理素子や光集積回路素子の小形化と高性能化を図ることのできる、耐熱性および信頼性に優れたマイクロレンズアレイを提供することにある。【構成】 基板11の上に形成されたマイクロレンズアレイにおいて、マイクロレンズアレイを構成するマイクロレンズ14と基板11との境界面が基板11と同一平面上にあり、そのマイクロレンズ14が無機物から成るマイクロレンズアレイである。
請求項（抜粋）：
基板上に形成されたマイクロレンズアレイにおいて、マイクロレンズアレイを構成するマイクロレンズと基板との境界面が、前記基板と同一平面上にあり、そのマイクロレンズが無機物から成ることを特徴とするマイクロレンズアレイ。
引用特許：
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