特許

J-GLOBAL ID：200903019136471250

ウェハ位置決め装置及びその方法

発明者： 山口 博史
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-142433
公開番号（公開出願番号）：特開平7-007069
出願日： 1993年06月15日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：

【要約】【目的】 ウェハのオリフラやVノッチを位置合わせ基準として用いて、これらを高分解能で正確に検出すると共に、ウェハサイズの影響を受けることなく高精度にウェハの位置決めを行なう。【構成】 本発明は、ウェハを吸着固定し、ウェハを回転させるウェハ回転手段と、このウェハ回転手段により回転させられているウェハの位置合わせ基準を検出する検出手段と、ウェハ回転手段の中心とウェハの中心とを一致させるセンタリング手段と、ウェハを任意に移動させる移動手段とを有する。

請求項（抜粋）：

ウェハを吸着固定し、ウェハを回転させるウェハ回転手段と、このウェハ回転手段により回転させられているウェハの位置合わせ基準を検出する検出手段と、前記ウェハ回転手段の中心と前記ウェハの中心とを一致させるセンタリング手段と、前記ウェハを任意に移動する移動手段とを具備したことを特徴とするウェハ位置決め装置。