特許

J-GLOBAL ID：200903019137295561

電界放出素子

発明者： 伊藤 茂生 ,  渡辺 照男 ,  谷口 昌照
出願人/特許権者： 双葉電子工業株式会社
代理人 (1件)： 西村 教光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-276233
公開番号（公開出願番号）：特開平5-094760
出願日： 1991年09月30日
公開日（公表日）： 1993年04月16日
要約：

【要約】【目的】 カソード電極とエミッタの間の抵抗層として均一な厚さの酸化膜を有する電界放出素子(FEC)を提供する。【構成】 FEC1は、ガラス基板2上にカソード電極3を有し、その上には、タンタル膜4と抵抗層となる酸化タンタル層5がある。酸化タンタル層5上には絶縁層6とゲート電極7があり、これらに形成されたホール8内の酸化タンタル層5上にエミッタ9が設けられる。酸化タンタル層5は、陽極酸化法を用いるこによりタンタル膜4に所望の精密な厚さで緻密に形成できる。

請求項（抜粋）：

絶縁性の基板と、前記基板上に設けられたカソード電極と、前記カソード電極上に設けられた抵抗層と、前記抵抗層を介して前記カソード電極に接続されたエミッタとを具備する電界放出素子において、前記抵抗層が酸化タンタルの薄膜を有することを特徴とする電界放出素子。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-154426
  
• 特開昭51-014281
  
• 特開平3-071529