特許

J-GLOBAL ID：200903019138195030

スピンバルブ型薄膜磁気素子及びその製造方法並びにこのスピンバルブ型薄膜磁気素子を備えた薄膜磁気ヘッド

発明者： 長谷川 直也
出願人/特許権者： アルプス電気株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-274060
公開番号（公開出願番号）：特開2002-092825
出願日： 2000年09月08日
公開日（公表日）： 2002年03月29日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 薄膜磁気ヘッド用のスピンバブル型薄膜磁気素子において、アシンメトリーを小さくして、再生波形の安定性の向上を図り、サイドリーディングの発生しない高出力特性の薄膜磁気素子、及びその製造方法並びにそれを用いた薄膜磁気ヘッドを提供する。【解決手段】 ボトムタイプのフェリフリースピンバブル型薄膜磁気素子において、バイアス層7をフェリフリー磁性層4の上面の一部にまで、延出して設けた構造とする。さらに、電極層8もバイアス層7の延出部の上に延出して設けた構造とする。製造方法は、1レジスト法又は2レジスト法が利用できる。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された反強磁性層と、この反強磁性層と接して形成された固定磁性層と、前記固定磁性層に非磁性導電層を介して形成されたフリー磁性層と、前記フリー磁性層の表面に接して形成された非磁性保護層とからなる積層体を有し、この積層体の両側に形成された1対のバイアス層と、前記バイアス層上に形成された1対の電極層から構成されており、前記フリー磁性層は非磁性中間層によって分断されていて、前記非磁性保護層側に配置された第1のフリー磁性層と前記非磁性導電層側に配置された第2のフリー磁性層とからなり、さらに前記バイアス層が非磁性層を介して前記フリー磁性層の上方の一部にまで延出して形成されていることを特徴とするスピンバルブ型薄膜磁気素子。

IPC (6件)：

G11B 5/39 ,  G01R 33/09 ,  H01F 10/00 ,  H01F 41/18 ,  H01L 43/08 ,  H01L 43/12

FI (6件)：

G11B 5/39 ,  H01F 10/00 ,  H01F 41/18 ,  H01L 43/08 Z ,  H01L 43/12 ,  G01R 33/06 R

Fターム (21件)：

2G017AA01 ,  2G017AB07 ,  2G017AD55 ,  2G017AD63 ,  2G017AD65 ,  5D034BA03 ,  5D034BA05 ,  5D034BA08 ,  5D034BA12 ,  5D034DA07 ,  5E049AA01 ,  5E049AA04 ,  5E049AA07 ,  5E049AA09 ,  5E049AA10 ,  5E049AC05 ,  5E049BA12 ,  5E049CB02 ,  5E049CC01 ,  5E049GC01 ,  5E049GC06